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　　高純氣體管道工程指針對(duì)易燃易爆、毒腐性氣體進(jìn)行安全輸送的管道設(shè)計(jì)方案。包含特氣房設(shè)計(jì)、管道設(shè)計(jì)、終端分配設(shè)計(jì)、氣體安全偵測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)等，te一般在實(shí)驗(yàn)室、潔凈車(chē)間等設(shè)計(jì)比較多。

　　高純氣體管道工程部分盤(pán)點(diǎn)

　　1.氣房設(shè)計(jì)

　　根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，易燃易爆類(lèi)氣體如硅烷、磷烷、乙炔、氫氣等氣體需放置在易燃易爆氣瓶間，毒腐性氣體如氨氣、笑氣等需放置在毒腐性氣瓶間。惰性氣體又是單獨(dú)放置，或根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況非氧化性氣體可以放置在特氣房?jī)?nèi)。整個(gè)氣房常年排風(fēng)，有新風(fēng)進(jìn)入。電氣管線必須防爆，同時(shí)具備火焰探測(cè)、消防噴淋、震動(dòng)監(jiān)測(cè)、泄露偵測(cè)、煙霧偵測(cè)、負(fù)壓偵測(cè)等功能。所有功能必須通過(guò)軟硬件整合至中控室聯(lián)動(dòng)。

　　特氣必須使用防爆特氣柜(GC)放置鋼瓶，整個(gè)氣柜也包含有測(cè)漏保壓、抽真空、吹掃、負(fù)壓偵測(cè)等功能。液相氣體同時(shí)還要具備鋼瓶稱重、伴熱等功能。

　　2.管道設(shè)計(jì)

　　根據(jù)氣體性質(zhì)，自燃性氣體如硅烷、磷烷等必須使用雙套管輸送。即工藝管線采用1/4’’管路輸送，在其外部再套一個(gè)1/2’’的外管進(jìn)行防護(hù)。工藝管路必須采用SUS316L，EP級(jí)拋光的潔凈管，外套管也需是SUS316LB*或AP的不銹鋼管道。管道全部采用美國(guó)世偉洛克全自動(dòng)焊接，禁止采用卡套、手工焊等連接方式。內(nèi)外管均需通過(guò)氦檢測(cè)試，外管同時(shí)需要加裝壓力傳感器監(jiān)測(cè)實(shí)時(shí)負(fù)壓。

　　3.終端設(shè)計(jì)

　　特氣從GC經(jīng)過(guò)管道一對(duì)一進(jìn)入VMB(氣體閥門(mén)分配柜)，所有VMB又必須具備二級(jí)調(diào)壓、壓力偵測(cè)、吹掃、抽真空、泄露偵測(cè)、排放等功能。VMB一般由二級(jí)調(diào)壓閥、單向閥、氣動(dòng)膜閥、手動(dòng)膜閥、真空發(fā)生器等組成，全部閥門(mén)管件接頭必須采購(gòu)至*的供應(yīng)商。

　　4.安全偵測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　氣體安全偵測(cè)系統(tǒng)是整個(gè)特氣系統(tǒng)的生命安全系統(tǒng)。它是基于氣房及設(shè)備、管道、終端及設(shè)備等的一整套偵測(cè)系統(tǒng)，包含有：氣體泄露偵測(cè)、環(huán)境偵測(cè)、煙感、火焰、震動(dòng)報(bào)警等。